بررسی تأثیر ضخامت بر خواص لایه‌های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی DC

نوع مقاله: علمی-پژوهشی

نویسندگان

1 دانش آموخته کارشناسی ارشد خوردگی و حفاظت مواد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات، تهران

2 استاد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی شریف، تهران